高次諧波光源

高次諧波(HHG)光源系統集群是—款高性能超短波長雷射光源系列產品。

能夠產生並輸出覆蓋真空紫外(VUV)、極紫外(EUV)至軟X射線 (SXR)波段的雷射，波長範圍為1 nm至200 nm，光子能量範圍為5.12 eV 至1240 eV，脈衝寬度範圍為100 as至100 fs。

該系列產品包括註冊品牌青鸞（VUV）、鸑鷟（EUV）和鴻鵠（SXR），是同時實現飛秒/阿秒時間解析度和納米空間尺度解析度的必要工具，廣泛應用于納米成像、超快光譜、納米材料科學、量子科技及高端半導體製造等領域，是科研和工業應用中不可或缺的光源解決方案。

• 核心部件：
  高效率高次諧波（HHG）發生器
• 產品亮點:
  高功率、超短脈衝、超寬光譜雷射
  輸出光譜單色化可調諧
  超高空間相干性結構緊湊：桌面化設計，整套系統尺寸僅為3 m × 1 .5 m
  可定制化、模組化設計，靈活適配多應用場景，滿足個性化需求
  長時高穩定度，滿足科研及工業的高標準需求
• 應用場景：
  高次諧波(HHG)光源廣泛應用於超快光譜學、阿秒科學、先進光刻、納米材料科學、生物醫療、高解析度成像及表面與介面研究等領域，為半導體製造、量子資訊及納米器件測試等領域提供重要技術支撐。